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明昕微电子芯片背面金属化加工厂建成投产
——本信息发表于2007-2-2
明昕芯片背面金属化加工厂已于06年底建成,自投产一个多月以来,运作状况一切良好,各项检验测试均达指标要求。作为宁波明昕微电子股份有限公司的下属分支机构,该加工厂专业进行芯片背面金属化加工等业务,目前采用国内广泛使用的日本ULVAC公司的EI-5z蒸发工序设备。该设备性能稳定,并拥有更为优化的真空系统。加工厂目前主要承接四、五、六寸硅片的背面金属化加工业务,背金工艺主要有焊料、共晶两种工艺。
公司背面金属化加工厂的建成投产,无疑进一步增强了公司在微电子产业领域的技术竞争实力。
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